欢迎访问上海众精科技发展有限公司官方网站!

全国服务热线

400-8796-880

称重传感器
您当前的位置 : 首 页 > 新闻资讯 > 行业新闻

联系我们

上海众精科技发展有限公司

咨询热线:400 8796 880 

咨询电话:021-57470065/021-57470075

传真:021-33321913

手机:138 1865 8894 (蒋经理)

手机:159 2187 6746 (蒋小姐)

手机:136 0189 6085 (余工)

手机:199 5529 4944 (李小姐)

手机:199 5526 9984 (赵小姐)

网址:www.shpbst.cn

地址:上海市徐汇区桂平路680号35号楼5楼525室


一种高频相对压力传感器的标定及应用

2021-10-30

一种高频相对压力传感器的标定及应用

压敏传感器在使用过程中,往往会产生偏置和灵敏度误差。校准可以消除或大大降低这些误差。对于传感器的零点漂移,通常采用零点测量平均法来补偿偏移误差[4],而灵敏度校准通常在数学模型中采用单点校准法。对于双频激光干涉测量系统的应用,要求测量系统具有较高的精度,因此必须保证测量系统的精度。多点标定法可用于获得理想的结果,同时考虑偏移误差和灵敏度误差。在实际应用中,可以根据测量系统的精度要求选择合适的校准方法。


针对高精度干涉仪测量系统的环境干扰,提出了高频温压补偿方案,即在双频激光干涉仪测量系统中增加高频相对压力传感器。通过对霍尼韦尔SLP系列相对压力传感器的调查,可以实现光路附近相对压力高20kHz的高频采集。SLP系列相对压力传感器是压阻式压力传感器的一种。扭矩传感器由于相对压力传感器容易受到温度的影响,因此需要在使用前进行校准。设计了高频相对压力传感器的校准方法,搭建了传感器校准的实验平台,并对校准实验进行了验证和结果分析。

扭矩传感器

SLP系列相对压力传感器其核心部件是硅膜片。硅片将其内部分为两部分,一部分与被测压力相连,另一部分与大气相连。与膜中心相比,硅膜片上的四个电阻条对称,其中两个位于测压应力区,另外两个位于大气相通应力区,四个形成惠斯通电桥结构。当硅膜片上有外部压力时,桥臂上电阻条的大小会发生变化,桥梁会脱离平衡状态,导致输出电压发生变化[6]。等效电路如图1所示。如图2所示,SLP系列相对压力传感器的电气连接图。


SLP系列相对压力传感器是专门为准确测量0~4“H_2O压差而设计的。这种相对压力传感器允许在薄膜的任何一侧施加压力来测量两端的压差,但不能直接测量环境扰动的压力。相对压力传感器的偏置和灵敏度需要用两个压力传感器来测量两端的压力来反映。在校准相对压力传感器之前,需要对两个压力传感器进行线性拟合,以计算它们之间的偏置。相对压力传感器校准实验装置的设计如图3所示。


标签

近期浏览:

称重传感器